Abstracto
- Este artículo presenta la optimización experimental de la geometría de un actuador térmico MEMS tipo hot-arm. Empleando simulación numérica de la transferencia de calor y la expansión mecánica que ocurre en la microestructura, se evalúan diferentes parámetros de diseño y características geométricas con la finalidad de ilustrar el impacto de dichas variables en la distribución térmica y sobre todo en el rendimiento